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?概要

該設(shè)備是手動上下料，自動拉膜，自動貼膜，自動切割，自動卷廢膜的貼

膜設(shè)備，適用于半導(dǎo)體晶圓劃片制程前的貼膜工序。

優(yōu)勢

兼容性:兼容6; 8英寸劃片環(huán)，且產(chǎn)品更換時無需更換臺盤。

省膜:做6英寸劃片環(huán)100M膜最多可貼426片;做8寸劃片環(huán)100M膜最多可貼334片。

可調(diào)整性:晶圓吸附力，劃片環(huán)吸附力可調(diào)且可數(shù)顯顯示:貼膜壓力可調(diào)且有壓力表顯

示，晶圓工作臺高度可調(diào)，且有刻度盤顯示，離型層回收力可調(diào)且有刻度盤顯示。

晶圓安全性:實(shí)時晶圓真空度檢測，浮動晶圓放置臺，防靜電特氟龍?zhí)幚砭A放置臺，

保證晶圓安全。

挑膜安全性:劃片環(huán)采用吸盤吸附，且膜環(huán)切后，有四個卡爪伸出將劃片環(huán)固定，可很

大程度上提高挑膜時的安全性。

操作安全性:操作窗口設(shè)有安全光幕。

全方位檢測:其他檢測包括膜耗盡檢測:廢膜卷更換檢測;切割刀位置檢測;劃片環(huán)檢

測; I ]禁檢測;所有氣缸工作位置檢測等。

高品質(zhì)貼膜效果:無氣泡;懸空膜無皺且具一定張力。

高質(zhì)量:主要元件均采用進(jìn)口知名品牌;全不銹鋼外殼;鋁型材機(jī)架。